性能和規(guī)格

外形尺寸

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體和平板顯示器制造
• LED制造
• 鍍膜設(shè)備
• 制冷設(shè)備和空調(diào)的元件及部件
• 低溫壓力容器
• 閥門氣密性
• 撿漏航空部件，配件及系統(tǒng)

而且，TMP-5305系列具有5300 L/s的高級別氣體吞吐和抽氣速度，預(yù)計可用于下一代450 nmm半導(dǎo)體晶圓加工。
島津制作所半導(dǎo)體儀器事業(yè)部渦輪分子泵BU R&D小組BU長太田知男表示：“目前，我們在磁懸浮TMP領(lǐng)域已經(jīng)占領(lǐng)了30 %的*。"“島津TMP在的普及反映了我們?yōu)闈M足不斷變化的行業(yè)需求而提供的創(chuàng)新設(shè)計和技術(shù)支持的歷史。"
事實上，島津TMP的原型是為了用于位于神戶的日本快速的超級計算機(jī)設(shè)計而成的。太田知男說：“島津工程師使用了建模技術(shù)來模擬TMP性能。"“我們所有的商用TMP系統(tǒng)均在島津內(nèi)部制造完成。通過這種方式，我們確保了產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。"

在需要超高真空的真空工業(yè)和分析科學(xué)應(yīng)用中，TMP的性能必須滿足嚴(yán)格的要求。TMP-B300是一款低功率、緊湊型渦輪分子泵，高度為195毫米，帶有一體式控制器，可在空間受限的環(huán)境中垂直、倒置或水平安裝。本設(shè)備允許1000 Pa的高前級壓力以支持隔膜泵等小型前級泵。
此外，本設(shè)備還配備了易用型集成控制面板，在約280 L/s的抽速下，僅以180 W的低功耗工作。

1179A01312CR1BV-K [ MKS ]

質(zhì)量流量控制器 1179A01312CR1BV-K，氣體：N2，范圍：100SCCM，類型：VCR，D-SUB 15P

1479A01353CR1BM [ MKS ]

質(zhì)量流量控制器 1479A01353CR1BM，氣體：N2，范圍：5SLM，類型：VCR

649A12T51CAVR-S [ MKS ]

質(zhì)量流量控制器 649A12T51CAVR HE 50SCCM, 100Torr SPCAL

649A-14943S [ MKS ]

質(zhì)量流量控制器 649A-14943S HE 50SCCM VCR 15P 50Torr / SPF 1013

P8A-26808 [ MKS ]

質(zhì)量流量控制器 MV-1242-PV H2O 3G/MIN VCR

DLT2A2231A1P210 [ MKS ]

質(zhì)量流量控制器 DLT2A2231A1P210 N2 2SLM VCR 9P