Park公司簡介：

　　 帕克原子力顯微鏡（Park Systems,以下稱Park）是一家專門從事納米設(shè)備測量的公司。Park致力于新技術(shù)開發(fā)，始終是納米顯微鏡和計量學(xué)領(lǐng)域的創(chuàng)新者。Park在AFM技術(shù)發(fā)展中發(fā)揮著舉足輕重的作用，制造和銷售具有全自動化軟件且使用方便的高精度原子力顯微鏡（AFM）。截至2021年4月20日，Park股票估值超過了一兆（萬億）韓元。

樸尚一（Sangil Park)博士和他的導(dǎo)師Calvin Quate教授

　　為夢想而堅守

　　1985年

　　樸尚一博士所在的課題組（師從Calvin Quate教授）研發(fā)出世界首臺原子力顯微鏡

　　1988年

　　樸尚一博士在美國硅谷創(chuàng)立了Park Scientific Instruments公司(PSI)

　　1997年

　　樸尚一博士將年銷量為1200萬美金的PSI以1700萬美金的價格轉(zhuǎn)賣給了美國測量設(shè)備公司Thermo Micro.

　　1997年

　　樸尚一博士回到韓國，創(chuàng)立PSIA公司，即為后來的Park原子力顯微鏡公司。

　　1997年4月

　　PSIA(株)成立（資金5億韓元）

　　1998年7月

　　中小企業(yè)廳風(fēng)險投資企業(yè)確認

　　1998年10月

　　被韓國產(chǎn)業(yè)資源部評定為工業(yè)為主技術(shù)開發(fā)公司

　　2000年04月

　　韓國科學(xué)技術(shù)部頒發(fā)國家研究獎（NRL）

　　2002年7月

　　獲得NT Mark(New Technology)新技術(shù)認證

　　2002年

　　消除串擾技術(shù)的發(fā)展（XE），從而提高了原子力顯微鏡的反饋和成像

　　2003年4月

　　成立美國分公司（PSIA Inc.）

　　2003年5月

　　被韓國科學(xué)技術(shù)部選為核心技術(shù)開發(fā)產(chǎn)業(yè)（Nano）

　　2003年10月

　　獲得**標志認證（XE-100, XE-150產(chǎn)品型號）

　　2004年2月

　　獲得“工業(yè)技術(shù)獎”

　　2004年

　　真正非接觸模式（True Non-contact Mode）實現(xiàn)無損樣品掃描

　　2005年1月

　　被評為2004年韓國十大新技術(shù)企業(yè)（原子力顯微鏡技術(shù)）

　　2005年7月

　　獲得ISO 14001環(huán)境管理體系認證

　　2006年1月

　　獲得韓國**技術(shù)認證（NEP， New Excellence Product）

　　2007年1月

　　成立日本分公司

　　2007年4月

　　法人名更改為Park Systems Corp.

　　2007年12月

　　被知識經(jīng)濟部評為"世界**商品生產(chǎn)企業(yè)"

　　2008年3月

　　“韓美未來產(chǎn)品經(jīng)營大獎”

　　2008年7月

　　獲得 ISO ****質(zhì)量管理體系認證

　　2008年8月

　　XE-3DM：用于高分辨率3D測量的全新3D原子力顯微鏡

　　2008年11月

　　XE-Wafer: 用于在線晶圓檢測和計量的自動化工業(yè)AFM

　　2009年5月

　　通過了Hynix海力士半導(dǎo)體的"Preliminary Performance Test"

　　2009年6月

　　榮獲彼得.德魯克創(chuàng)新獎

　　2010年1月

　　獲得國家核心技術(shù)獎（工業(yè)型原子力顯微鏡技術(shù)）2010-11號

　　2010年12月

　　韓國十大新技術(shù)獎（XE-3DM技術(shù)）-知識經(jīng)濟部

　　2010年12月

　　韓國技術(shù)大賞銀獎（XE-3DM技術(shù)）（經(jīng)濟部長獎）

　　2011年

　　Park NX10新品出市：全新產(chǎn)品系列的*優(yōu)原子力顯微鏡

　　2012年8月

　　NanoKorea 2012知識經(jīng)濟部長獎

　　2012年8月

　　新加坡分公司成立

　　2012年10月

　　Park NX-Wafer: 全自動晶圓檢測原子力顯微鏡

　　2012年

　　Park NX20新產(chǎn)品：用于故障分析和大型樣品掃描的**納米計量工具

　　2013年6月

　　被選為 INNO-BIZ(技術(shù)創(chuàng)新中小企業(yè)) (13.06.20~16.06.19)

　　2013年

　　Park NX-HDM: 實現(xiàn)硬盤介質(zhì)和半導(dǎo)體襯底的全自動化缺陷檢查和亞埃米級表面粗糙度測量

　　2014年

　　Park SmartScan: 通過Park劃時代創(chuàng)新自動成像技術(shù)，實現(xiàn)SmartScan軟件的三次點擊成像

　　2015年2月

　　與IMEC達成JPD協(xié)議以開發(fā)用于半導(dǎo)體制造業(yè)的納米級原子力顯微鏡計量學(xué)

　　2015年5月

　　被選為國家產(chǎn)業(yè)核心技術(shù)事業(yè)項目 (2015.06~2018.05)-韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部

　　2015年8月

　　首次在KOSDAQ（科斯達克）評估信息中獲得AA等級技術(shù)評估，技術(shù)保證金

　　2015年9月

　　被指定為國家核心技術(shù)（原子力顯微鏡制造技術(shù)） -韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部

　　2015年12月

　　在科斯達克（KOSDAQ）上市，首次公開募股

　　2015年6月

　　NX-3DM:失效分析，質(zhì)量監(jiān)控和工藝改進的*佳原子力顯微鏡

　　2015年

　　Park NX-Hivac: 用于故障分析和氣壓敏感材料研究的高真空原子力顯微鏡

　　2016年6月

　　榮獲第8屆韓國KOSDAQ獎"*佳下一代企業(yè)獎"

　　2016年6月

　　被選為INNO-BIZ(技術(shù)創(chuàng)新中小企業(yè)) (A等級，16.06.20~19.06.19)

　　2016年7月

　　2016弗若斯特沙利文（Frost＆Sullivan）“全球技術(shù)支持**獎”

　　2016年12月

　　產(chǎn)業(yè)通商資源部頒發(fā)2016年"**5屆產(chǎn)業(yè)技術(shù)獎"

　　2016年

　　Park NX20 300mm: 可用于300 mm晶片圓測量和分析的自動化納米測量工具

　　2017年2月

　　成立中國臺灣分公司

　　2017年3月

　　成立歐洲分公司

　　2017年

　　Park NX12: 多功能原子力顯微鏡平臺，滿足納米級測量的需求

　　2018年5月

　　2018年科斯達克（KOSDAQ）后起之秀企業(yè)

　　2018年6月

　　第十屆韓國科斯達克（KOSDAQ）大賞***技術(shù)企業(yè)獎

　　2018年9月

　　中國北京分公司成立

　　2018年11月

　　科學(xué)技術(shù)信息通信部，產(chǎn)業(yè)通商資源部頒發(fā)2018年十大納米技術(shù)獎

　　2018年12月

　　入選2018年*有前途半導(dǎo)體技術(shù)解決方案企業(yè)

　　2019年7月

　　再次被選為2019年科斯達克（KOSDAQ）后起之秀企業(yè)

　　2019年7月

　　獲NanoKorea 2019年韓國國務(wù)總理表彰獎

　　2020年2月

　　Park NX-TSH: 專為超大納米平板顯示器測量設(shè)計的自動化原子力顯微鏡

　　2020年3月

　　IMEC與Park公司簽署第二期JDP協(xié)議合作開發(fā)用于半導(dǎo)體制造的納米計量解決方案

　　2020年5月

　　Park原子力顯微鏡完成其對Molecular Vista的股權(quán)投資

　　2021年1月

　　2020年福布斯亞洲10億美元200強企業(yè)榜單 -Park原子力顯微鏡公司上榜

　　2021年2月

　　Park SmartLitho?-*簡易的納米光刻和納米操作的智能化軟件

　　2021年4月

　　在科斯達克（KOSDAQ）突破一兆（萬億）韓元的關(guān)口

　　Park研發(fā)之路

　　"前世今生"

　　近40年間，樸尚一博士致力于原子力的發(fā)展。1985年，樸尚一博士在斯坦福大學(xué)Calvin Quate教授課題組攻讀博士學(xué)位期間，親身參與并見證了首臺AFM的誕生。該成果發(fā)表在1986年3月的“物理評論快報”上，該成果的共同作者單位為Gerd Binnig(IBM公司阿爾瑪?shù)茄芯恐行?、Christoph Gerber(IBM公司蘇黎世研究實驗室)、Calvin Quate教授(斯坦福大學(xué))。

　　 1988年，樸尚一博士在美國硅谷創(chuàng)立了Park Scientific Instruments公司(PSI)，PSI作為全球*初的商業(yè)化AFM公司在硅谷獲得了巨大成功，公司僅用三年時間，銷售業(yè)績就達到了595萬美金，相比于創(chuàng)業(yè)之初的1988年，業(yè)績實現(xiàn)了超過10倍的暴風(fēng)式增長。1 997年， PSI以1700萬美金的收購價格被美國測量設(shè)備公司Thermo Micro全資收購。

　　 1997年，樸尚一博士回到韓國并于當年成立了PSIA公司。伴隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的崛起，PSIA公司著力于開發(fā)適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的計量型原子力顯微鏡。1998年，PSIA公司推出了首款可以對8英寸Wafer進行缺陷檢測的原子力顯微鏡"SM5-200"。

　　 2000年，PSIA公司根據(jù)LCD產(chǎn)業(yè)的需求，推出了世界上首臺不用破片的大尺寸LCD產(chǎn)業(yè)用原子力顯微鏡--600X720 mm液晶顯示器(LCD)。該產(chǎn)品首次實現(xiàn)了原子力顯微鏡檢測的不破片測量，并在同年得到了三星電子的評測認可。

　　 但在2001年，由于受制于美國的貿(mào)易政策，PSIA公司不能從美國的公司采購任何主要的美國生產(chǎn)的產(chǎn)品備件，導(dǎo)致公司生產(chǎn)一度停滯。

　　 “求人不如求己！”

　　 面對美國一些貿(mào)易壁壘的經(jīng)營限制條例，樸尚一博士決定借此機會讓PSIA成為完全的技術(shù)獨立者。在隨后的漫長時間里，他致力于研發(fā)完全本土化的產(chǎn)品。歷盡不為人知的眾多曲折后，PSIA*終推出了世界上首臺掃描器分離的原子力顯微鏡Park XE-100，并且將非接觸模式的算法進行了優(yōu)化升級，一舉解決了傳統(tǒng)非接觸模式不能進行高分辨掃描的弊端。PSIA推出的非接觸模式成像，在獲得高分辨率的照片的同時，且使探針壽命得到了顯著的提升，有效降低了AFM使用成本。2007年4月，PSIA正式改名為Park Systems (中文名：帕克原子力顯微鏡，以下稱為Park)。

　　 隨后Park還開發(fā)了3D原子力顯微鏡測量技術(shù)，升級款的原子力顯微鏡可以測量類似TSV樣品的側(cè)壁形貌。此項技術(shù)問世后，歐洲**的微電子技術(shù)獨立研發(fā)中心IMEC向Park拋來合作的橄欖枝，并在2015年和Park簽署合作意向書，以便在半導(dǎo)體工藝先進制程研發(fā)領(lǐng)域建立長期合作伙伴關(guān)系。

　　總結(jié)語

　　 Park公司成立至今，從包括樸尚一博士在內(nèi)的首次創(chuàng)業(yè)的幾個合伙人，發(fā)展到現(xiàn)在擁有400人的全球公司，實現(xiàn)了質(zhì)的蛻變。截至目前，Park公司市值已超過10億美金，在全球建立了9個分公司和代表處，并于2017年在中國北京成立了韓國帕克服份有限公司北京代表處……毋庸置疑，隨著市場地不斷開拓，Park公司憑借著與時俱進的研發(fā)技術(shù)，已經(jīng)成為業(yè)界**的**企業(yè)。接下來Park即將推出一系列新品原子力顯微鏡，并將于2024年擴遷公司總部，以更好地推進公司的運營和發(fā)展。Park將為科學(xué)和工業(yè)實驗室引入一種具有人工智能和機器人智能化的全新全自動化原子力顯微鏡 ，敬請期待！